第1739章 牛肉白吃啦？ （2 / 2）

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因为王老爷子的留英背景，这个组的沟通算是好的，已经完成了初步磨合……

二组负责掩模台与同步控制。

英方带队的是彼得?史密斯，剑桥大学教授，工程院院士，步进电机控制算法权威，以前做过剑桥与IBM的合作研究员，实践经验很丰富。

内陆方面派出的是机床研究所研究室主任徐性初。这位以后会是国内专业领域的牛人，但眼下才四十多岁。虽然技术底子很不错，但对上国际权威，被压的根本抬不起头……

三组负责光刻胶材料与工艺。

英国佬来的是帝国理工高分子材料界面专家弗兰克?琼斯，在光刻胶黏附性研究方面有着不俗的造诣。

内陆方面来的是高分子化学专家林尚安。另外，物质结构所卢所长协助材料表征研究。

两边各有所持，这几天一直在试探性的接触，但都有所保留，属于半冷不热的状态……

四组负责晶圆承载台设计。

这方面的工作咱们已经完成的差不多了，只有接触式对准装置套刻精度还差一些。

戴英方面来的是位大牛，剑桥大学教授，两院院士亚历克?布鲁斯。上来就把咱们的设计从头至尾的挑了一遍毛病，可以说批的一无是处。

关键是，只挑毛病不说解决办法，摆出一副“我等着你们求我的架势”，把内陆这边从卢所长到下面的技术员气的鼓鼓的……

五组负责光学对准系统开发与曝光后缺陷检测。

戴英那边是牛津的科林?谢泼德教授，共聚焦显微镜系统的研发者。眼下虽然名声不显，但绝对是专业领域的牛人。

东大派出的是微电子所的老李同志，算是国内半导体检测技术开拓者，俩人各自带的团队属于互补。

但沟通不大顺畅，处于矜持的试探性接触和了解中，合作还无从谈起……

六组负责真空与环境控制系统。

戴英来的是工程院的休?戴维，同时也是伦敦大学教授，真空系统集成专家，参与过欧洲早期光刻设备研发。

内陆来的是物理所的金建中，国内真空技术奠基人，国内的超高真空技术就是他带队搞出来的。

这两位牛人倒是挺融洽，问题是过去几天只顾着技术交流了，正事儿一点没干。

行吧，磨刀不误砍柴工……

最后一组负责机械结构与控制系统联调，和故障诊断流程建立。

戴英带队的是皇家学会的约翰?赖特，系统工程专家，主导过多学科技术整合。

内陆来的是45所的张总工，全程参与了我们现役光刻机的装配工作，技术没的说，经验也很丰富，就是表达能力有点一般。

约翰?赖特做过技术整合，是一帮英国佬里少见的，比较开朗热情，懂得开玩笑，很友善的存在。

但正是因为他的这种“异常”表现，引发了张总工的高度警惕。觉得事有反常，生怕对方带有险恶的目的。

俩人有点剃头挑子一头热的意思……

听了赵小军的情况介绍，曲卓属实没太当回事。主要是陌生造成的，再就是缺乏紧迫感。

至于每个组谁是老大谁是老二……那玩意没有强行任命的，属于各凭本事。哪个能让更多的人信服，哪个就是老大。

都是具有研发与实践经验的成熟科研人员，只要有人帮所有人捋顺一下流程，再稍微一推，整个项目组就能运转起来。

像亚历克?布鲁斯那伙儿的也没大问题。

其它组运转起来，他就算维护自己戴英两院院士的骄傲，也不会让晶圆承载台这一块，拖了整个项目的后腿。

只要能学到真本事，忍受一下他的高傲和坏脾气又能怎么样……

一如既往的中餐加炸鱼、烤肉、薯条组成自助晚餐过后，所有人到大会议室集合。

曲某人没有半句废话，在两块白板上罗列出GCA的DSW 4800和小日子尼康刚推出的NSR-1010G的具体参数。

从光源波长到孔径、分辨率、定位精度、曝光效率、对准方式、光刻胶类型、缺陷率和MTBF，进行全方位的对比。

随后又在第三块板子上，罗列出石壁实验室步进式光刻机的预设参数。哪些问题已经解决了，哪些问题等待解决。

然后，问众人：“伙计们，DSW 4800将主流制程从3微米推进到了1.5微米。尼康 NSR-1010G更进一步，1.3微米将会走出实验室。

而且，我有可靠的消息，他们正在全力攻关，意图将缩小倍率从10比1调整为 5比1。

知道那意味着什么吗？

一旦他们取得成功，主流制程大概率被推倒1微米，甚至是800纳米。

我可以告诉你们，我的团队，已经做好了基于800纳米制程的，集成了浮点运算单元的新设计。

现在，请你们明确的告诉我。还需要多长时间，我才能等到你们的成果？”